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更新時間：2026-01-06
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| 參數(shù)項(xiàng) | 數(shù)值 | 備注 |
|---|---|---|
| 抽氣速度 | 3300 L/min（120 CFM） | 標(biāo)準(zhǔn)工況下的穩(wěn)定抽速 |
| 極限壓力 | 3.0 Pa（無氣鎮(zhèn)）；5.0 Pa（帶氣鎮(zhèn)） | 滿足潔凈真空基礎(chǔ)需求 |
| 進(jìn)氣 / 排氣口徑 | NW40（KF40） | 適配主流真空管道 |
| 額定功率 | 1.5 kW | 極限壓力下功耗低至 1.1 kW |
| 電源容量 | 3 kVA | 適配三相 200?240 VAC，可選單相 |
| 運(yùn)行噪音 | 56 dB(A) | 低噪，適合實(shí)驗(yàn)室 / 潔凈車間 |
| 冷卻方式 | 空冷 | 無需外接冷卻水，安裝靈活 |
| 重量 | 約 55 kg | 緊湊易搬運(yùn)，節(jié)省安裝空間 |
| 接口配置 | 帶氣鎮(zhèn)接口、垂直排氣、外置消音器 + 止回閥 | 標(biāo)準(zhǔn)配置，可選配件豐富 |
無油潔凈：多級羅茨結(jié)構(gòu)無油污染，適配半導(dǎo)體晶圓、光伏電池片等對潔凈度要求高的制程。
空冷免維護(hù)：無需水冷系統(tǒng)，減少管路與維護(hù)成本，適合無水或空間受限場景。
低噪節(jié)能：56 dB (A) 運(yùn)行噪音，極限壓力下功耗低至 1.1 kW，長期運(yùn)行成本優(yōu)勢顯著。
接口兼容：NW40 接口適配多數(shù)真空設(shè)備，氣鎮(zhèn)功能可處理少量水汽，提升工況適配性。
穩(wěn)定可靠：非接觸式轉(zhuǎn)子設(shè)計，磨損小、壽命長，適合連續(xù)運(yùn)行的產(chǎn)線或?qū)嶒?yàn)環(huán)境。
半導(dǎo)體：晶圓清洗、光刻膠涂覆、PECVD 等前道制程的真空環(huán)境維持。
光伏：電池片沉積、等離子體刻蝕等潔凈真空環(huán)節(jié)。
分析儀器：質(zhì)譜儀、電子顯微鏡、真空干燥箱的真空源供給。
材料研發(fā)：真空鍍膜、濺射、離子注入等實(shí)驗(yàn)設(shè)備的配套真空系統(tǒng)。
工業(yè)制造：電子元器件封裝、精密焊接等低污染真空場景。
配套建議
真空管道：采用 NW40（KF40）法蘭，配金屬密封圈確保密封性能。
電源配置：三相 200?240 VAC，預(yù)留 3 kVA 供電容量，避免電壓波動影響運(yùn)行。
維護(hù)周期：建議每 6 個月檢查濾芯、消音器，每年進(jìn)行一次全面保養(yǎng)與性能校準(zhǔn)。
選型對比
| 型號 | 抽速（L/min）| 極限壓力（Pa）| 功率（kW）| 適用場景 |
| ---- | ---- | ---- | ---- | ---- |
|EV?SA20|1670|3.0/5.0|1.5 | 小型分析儀器、實(shí)驗(yàn)室小腔體 |
|EV?SA30|3300|3.0/5.0|1.5 | 中型產(chǎn)線、光伏 / 半導(dǎo)體中小腔體 |
|EV?SA50|5000|3.0/5.0|1.5 | 大型腔體、高抽速需求的制程線 |
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