代理實(shí)惠YAMADA山田光學(xué) 鹵素光源照明裝置

代理實(shí)惠YAMADA山田光學(xué) 鹵素光源照明裝置

1. 用途：主要用于 Si 薄片、玻璃表面等的瑕疵檢查，是一種宏觀觀察照明設(shè)備，可檢測半導(dǎo)體晶圓和液晶基板加工過程中最終成品表面的異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等各種缺陷。

2. 性能參數(shù)：

• 照度：可照亮樣品表面 400,000Lx 以上，能使微小瑕疵清晰可見。

• 光源：采用鹵素?zé)?，燈型?ELC24V250W，色溫 3,400K°，照光和顏色均一，保證了穩(wěn)定強(qiáng)光的照射。

• 熱影響：使用冷鏡，使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少 1/2 到 1/3，有效減少光源產(chǎn)生的熱量對被檢測物體的影響。

• 光束直徑：通過鏡片可在 30-50mm 之間調(diào)整。

• 照射范圍：60mmφ。

• 照射距離：220mm。

• 壽命：35 小時(shí)。

• 環(huán)境溫度：0-40℃。

• 冷卻方式：強(qiáng)制排氣。

• 輸入電壓：AC100V 50/60Hz。

• 功率：350W。

3. 外觀與設(shè)計(jì)：

• 尺寸：120(W)×388(H)×130(D)mm。

• 重量：2.7kg。

• 操作便捷：底部有開關(guān)，可調(diào)整照明勘察器高度，操作簡便，還可控制光量；具有兩級切換機(jī)構(gòu)，一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。

• 靈活支架：一般配備可調(diào)節(jié)支架或軟管，方便多角度照明。

4. 優(yōu)勢：

• 高分辨率缺陷檢測：高亮度照明能夠顯著提高微小缺陷的可見性，提升檢測分辨率，幫助更準(zhǔn)確地識別和定位缺陷。

• 減少誤判和漏檢：確保所有潛在缺陷都被清晰照亮，減少誤判和漏檢的可能性，提高檢測結(jié)果的可靠性和一致性。

• 提升檢測效率：使得檢測設(shè)備能夠更快地掃描和識別缺陷，支持高速檢測系統(tǒng)，提高檢測效率。

• 適應(yīng)多種檢測需求：其高照度和低照度模式可切換，不僅適用于宏觀檢測，也適用于微觀檢測，還能滿足不同角度和位置的檢測需求。

• 兼容性與靈活性：能夠與多種檢測設(shè)備兼容，照明角度和亮度可以靈活調(diào)整，可根據(jù)不同的檢測任務(wù)和晶片類型進(jìn)行優(yōu)化配置。